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科友半導體自產(chǎn)首批8英寸碳化硅襯底下線(xiàn)
2023-10-19 09:23:18.0

2023-10-19 09:23:18.0 | 分類(lèi): | 瀏覽量:555

轉載自 艾邦半導體網(wǎng)

2023年9月,科友首批自產(chǎn)8英寸SiC襯底于科友產(chǎn)學(xué)研聚集區襯底加工車(chē)間成功下線(xiàn),這標志著(zhù)科友在8英寸SiC襯底加工,以及大尺寸襯底產(chǎn)業(yè)化方面邁出了堅實(shí)一步。

2023年4月,科友半導體8英寸SiC中試線(xiàn)正式貫通并進(jìn)入中試線(xiàn)生產(chǎn),同步推進(jìn)晶體生長(cháng)厚度、良率提升和襯底加工產(chǎn)線(xiàn)建設,加快襯底加工設備調試與工藝參數優(yōu)化,SiC襯底加工良率和面型參數上不斷取得新的進(jìn)展,打破了國際在寬禁帶半導體關(guān)鍵材料的限制和封鎖。

2023年6月,科友半導體表示已突破了8英寸SiC量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù),8英寸SiC中試線(xiàn)平均長(cháng)晶良率已突破50%,晶體厚度15mm以上,有望粉碎國際封鎖,成為我國大尺寸低成本碳化硅規?;慨a(chǎn)制造技術(shù)的領(lǐng)跑者。

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哈爾濱科友半導體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司成立于2018年5月,企業(yè)坐落于哈爾濱市新區,是一家專(zhuān)注于第三代半導體裝備研發(fā)、襯底制作、器件設計、科研成果轉化的國家級高新技術(shù)企業(yè),研發(fā)覆蓋半導體裝備研制、長(cháng)晶工藝、襯底加工等多個(gè)領(lǐng)域,已形成自主知識產(chǎn)權,實(shí)現先進(jìn)技術(shù)自主可控。科友半導體在哈爾濱新區打造產(chǎn)、學(xué)、研一體化的第三代半導體產(chǎn)學(xué)研聚集區,實(shí)現碳化硅材料端從原材料提純-裝備制造-晶體生長(cháng)-襯底加工-外延晶圓的材料端全產(chǎn)業(yè)鏈閉合,致力成為第三代半導體關(guān)鍵材料和高端裝備主要供應商。

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